本文標題："增強電子穿透試片的能力-TEM與SEM顯微鏡的功能"
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近年來TEM與SEM的功能大大的提升，而TEM主要發(fā)展方向為：
(一)提高鑒別率
提升鑒別度，使點與點間之鑒別率為1.8Å、線與線間1.4Å。以其超越廠商對解析力最低要求。
電子顯微鏡中心的1000 keV原子分辨電子顯微鏡（atomic resolution electron microscope，AREM）
對點與點間之分辨率高達1.7Å，已可直接觀察晶體中的原子。
(二)提昇高壓電
增強電子穿透試片的能力，即可觀察具代表性試片；
更可透過臨場直接觀察輻射損傷試片的程度；降低散色像差（chromaticaberration），提升解析度等
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