本文標(biāo)題："光學(xué)成像配合影像測(cè)量軟件-專業(yè)影像測(cè)量工具顯微鏡"
發(fā)布者：yiyi ------ 分類: 行業(yè)動(dòng)態(tài) ------
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光學(xué)成像機(jī)制搭配像散式量測(cè)系統(tǒng)（ADS）可成為一套完整之光學(xué)量測(cè)平臺(tái)。
此成像機(jī)制可觀察量測(cè)光點(diǎn)以及物體表面之微小結(jié)構(gòu)間之距離關(guān)系，
搭配一致動(dòng)器可將ADS之量測(cè)光點(diǎn)對(duì)焦于物體表面上微小結(jié)構(gòu)之不同區(qū)域，并量測(cè)此結(jié)構(gòu)之高度角度及其變化。
可能的應(yīng)用范圍：
1. MEMS元件制程良率檢測(cè)
2. 光學(xué)表面輪廓儀應(yīng)用。
3. 以懸臂樑為基礎(chǔ)之生化感測(cè)器量測(cè)應(yīng)用
優(yōu)點(diǎn)：
1. 大幅縮短像散式量測(cè)系統(tǒng)之雷射光點(diǎn)瞄準(zhǔn)時(shí)間
2. 提升像散式量測(cè)系統(tǒng)之使用方便性
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