本文標(biāo)題:"測(cè)量?jī)x器價(jià)格,炭黑顆粒計(jì)量分析圖像顯微鏡制造廠"
發(fā)布者:yiyi ------ 分類: 行業(yè)動(dòng)態(tài) ------
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測(cè)量?jī)x器價(jià)格,炭黑顆粒計(jì)量分析圖像顯微鏡制造廠
關(guān)于基材偏壓的作用是在于加速正電離子,使得氫電漿去轟擊基板,
而且會(huì)使碳離子具有垂直規(guī)則的排列。因此在較高的負(fù)偏壓,
會(huì)產(chǎn)生大的蝕刻效果并形成更短、更小垂直排列的碳納米管或顆粒狀碳納米結(jié)構(gòu)。
相反的,若是在沒(méi)有負(fù)偏壓或負(fù)偏壓很小時(shí),結(jié)果會(huì)顯示碳膜或不均勻顆粒狀碳納米結(jié)構(gòu)。
目前的制程條件中,碳納米管最大的管束密度和碳納米顆粒分 別為20.6 Gtubes/inch2,
長(zhǎng)度為550 nm和23.2 Gtubes/inch2,高度為178 nm。相較于碳納米管,
有趣的是顆粒狀包覆鐵碳納米結(jié)構(gòu),在穿透式電子顯微鏡下,聚電子束時(shí),
會(huì)彼此熔融在一起形成一個(gè)大顆粒,
這可能是在碳納米管頂端的鐵觸媒具有磁性相互吸引,
再加上在納米尺寸顆粒的熔點(diǎn)降低所造成
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