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本文標題："AFM顯微鏡發(fā)明突破了STM對樣品材料的導電要求"

發(fā)布者：yiyi ------ 分類: 行業(yè)動態(tài) ------ 人瀏覽過-----時間：2016-12-7 1:40:2

AFM顯微鏡的發(fā)明突破了STM對樣品材料的導電要求

AFM的發(fā)明突破了STM對樣品材料的導電要求，可對包括絕緣表

面在內的各類表面進行接近原子級分辨精度的形貌測量。因而AFM

在超精密加工表面形貌測量領域有著極其重要的應用價值。以常見

的接觸模式為例，系統(tǒng)工作時，AFM探針針尖與樣品表面保持準接

觸狀態(tài)，且針尖相對于樣品表面做X、y向柵格掃描運動。掃描過程

中，探針的懸臂梁將受樣品表面形貌的調制而發(fā)生形變。這一形變

量則由力檢測系統(tǒng)檢測獲得并將其反饋至控制系統(tǒng)?？刂葡到y(tǒng)進而

控制掃描管沿Z向伸縮變化以保持懸臂梁的形變量恒定。這樣系統(tǒng)

便可通過采集掃描管的Z向伸縮量信息獲得樣品表面的三維形貌。

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