本文標(biāo)題："光學(xué)元件的加工精度計(jì)量多功能工具顯微鏡廠商"
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光學(xué)元件的加工精度計(jì)量多功能工具顯微鏡廠商
聚光鏡將光源聚光并投射到原圖表面上。攝影鏡頭再將這一
小塊被照明面積圖象投影到一定的平面去。在這個(gè)平面上有
一個(gè)視場(chǎng)光闌，它呈正方形。光通量穿過(guò)光闌并投射到光電
轉(zhuǎn)換器上。
這種光學(xué)部件比前一種具有較高的空間分辨率，因?yàn)闊o(wú)
論原圖還是光學(xué)元件的漫射光都不會(huì)對(duì)象素的形狀和大小產(chǎn)
生影響。這種光學(xué)部件的一個(gè)優(yōu)點(diǎn)在于可以通過(guò)改變光闌的
大小來(lái)改變象素的大小。
原圖的照度測(cè)量系統(tǒng)的信／噪比、照度水平與光源的亮
度及光學(xué)部件中的光損耗均有關(guān)。根據(jù)必要的信／噪比可以
確定起碼的照度水平。 ’
由于對(duì)原圖的照度不穩(wěn)定，引起了光通量的起伏變化，最
終導(dǎo)致測(cè)量的誤差。
還有一個(gè)因素可能引起照度不穩(wěn)定，。這就是光學(xué)部件本
身的幾何尺寸在掃描過(guò)程中發(fā)生變化。這種形式的不穩(wěn)定性，
取決于圖象輸入裝置的掃描方式以及光學(xué)元件的加工精度。
步進(jìn)電機(jī)斷續(xù)拖動(dòng)裝置可以獲得很小的移位間距(不用
減速裝置)。同時(shí)，它能夠大大提高拖動(dòng)的平滑性，減少掃描
定位時(shí)間。因?yàn)檫@種電機(jī)消除了滑移制動(dòng)和弛張(或準(zhǔn)弛張)
狀態(tài)，因此，取消減速器同樣也能提高掃描效率。步進(jìn)電機(jī)
拖動(dòng)的一個(gè)主要缺點(diǎn)是不能保證高速度掃描，除非采用特別
措施(自激勵(lì)加速等等)。
步進(jìn)拖動(dòng)用于小間距定位(百分之一或千分之一毫米)的
光柵掃描最為有效。
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