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本文標題:"粗糙度測量廣泛使用的另一種儀器是電子顯微鏡"

發(fā)布者:yiyi ------ 分類: 行業(yè)動態(tài) ------ 人瀏覽過-----時間:2015-7-11 16:26:3

表面粗糙度儀測量廣泛使用的另一種儀器是電子顯微鏡

 
  大多數(shù)表面都有某種程度的隨機性,因此需要以統(tǒng)計形式來分
析,在統(tǒng)計學上用來代表單個輪廓需要的數(shù)據(jù)點數(shù)是很大的,為
了表示一個區(qū)域,要將這個數(shù)平方,以及在數(shù)據(jù)處理和測陬方面
產(chǎn)生了難以解決的問題,曾試圖用光學方法直接得到表面功率譜
表達式來解決這個數(shù)據(jù)獲取的問題,但是這種技術受幾個不利條
件的限制:它假設表面的統(tǒng)計規(guī)律是平穩(wěn)的和正態(tài)的;它應能給
出便于數(shù)據(jù)處理過程的信息形式;它需要用透明物質(zhì)做成的表面
復制品,以及隨之帶來一些缺欠,廣泛使用的另一種儀器是掃描
電子顯微鏡,它用電子束的櫥格式掃描產(chǎn)生表面的圖象,它的高
分辨率和聚焦深度使它成為研究較光滑表面的極有用的儀器,但
是評定粗糙的表面卻很困難。
 
  缺乏定量的拓撲圖信息是所有上述技術的嚴重缺點,特別是工
程應用中所關心的特性在分布的尺寸范圍內(nèi)可復蓋許多數(shù)量級的
場合,研究三維空間表面的最可靠的方法仍然是用觸針式儀器在
表面上測得一組線值,本文討論了這個技術,并敘述了用三維表
面測量的新的完整的自動系統(tǒng)的設計,結(jié)構和使用。
 

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