本文標(biāo)題:"微小尺寸透鏡放大式量?jī)x有投影儀和光學(xué)顯微鏡"
發(fā)布者:yiyi ------ 分類: 行業(yè)動(dòng)態(tài) ------
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微小尺寸透鏡放大式量?jī)x有投影儀和光學(xué)顯微鏡
透鏡放大式
透鏡放大式量?jī)x有投影儀和顯微鏡,在顯微鏡中使用光電顯微鏡測(cè)量
以前使用的投影儀都是靠人工測(cè) 測(cè)原理
量,其測(cè)量方法是,用刻度尺直接量被物鏡放大了的、投影到
屏上的影象,或者利用旋轉(zhuǎn)載物臺(tái)的測(cè)微鼓輪測(cè)量。
這種測(cè)量變?yōu)橹鲃?dòng)測(cè)量,在影屏上,二維地配置許多光電元
件,用這些光龜元件測(cè)量被放大了的投影工件的輪廓,并且進(jìn)
行光電轉(zhuǎn)換。這些光電元件是按零件公稱值配置的,用作比較
測(cè)量,求其偏差。或者按電視的方法掃描整個(gè)影屏,用追蹤
輪廓明暗線條等方法來(lái)實(shí)現(xiàn)主動(dòng)測(cè)量。為了減少影象的偵
斜,可采用遠(yuǎn)心光路照明
在微小尺寸和微小位移的測(cè)量中,又有兩種情況:①測(cè)量
的絕對(duì)值是表面各段微小尺寸差,②用比較法測(cè)量被測(cè)件與
標(biāo)準(zhǔn)件之差。不論是測(cè)量微小尺寸的絕對(duì)值,還是比較測(cè)量微
小長(zhǎng)度差,量?jī)x檢測(cè)微小長(zhǎng)度的機(jī)能都是相同的.通常把這
種測(cè)量?jī)x稱為比較測(cè)量?jī)x。
在大尺寸和大位移測(cè)量中,是用標(biāo)準(zhǔn)尺等直接測(cè)量被測(cè)
件,即由標(biāo)準(zhǔn)尺等指示出測(cè)量值。通常把這種測(cè)量?jī)x稱為指
示測(cè)量?jī)x。
因此,把微小長(zhǎng)度及微小位移的測(cè)量統(tǒng)稱為比較測(cè)量,把
大尺寸、大位移的測(cè)量統(tǒng)稱為指示測(cè)量,又稱絕對(duì)測(cè)量。
光學(xué)主動(dòng)測(cè)量即光電轉(zhuǎn)換法.主要是通過(guò)光電轉(zhuǎn)換把測(cè)
得的光量轉(zhuǎn)換成電量。
幾何光學(xué)測(cè)量法
這種測(cè)量方法,包括光學(xué)杠桿式(很早就用于精密測(cè)量)
及透鏡放大式,這兩種方法都屬于被動(dòng)測(cè)量法。
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