本文標(biāo)題："光學(xué)輪廓儀型號及精度-電動(dòng)測量工具顯微鏡"
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光學(xué)輪廓儀型號及精度-電動(dòng)測量工具顯微鏡
共焦顯微鏡 共焦顯微鏡是商用化最成功的一個(gè)光學(xué)聚集傳
感系統(tǒng)，最早用來進(jìn)行生物樣品的檢測，在工程表面的測量上也
得到了應(yīng)用。
干涉型光學(xué)輪廓儀
（1）雙波長和多波長干涉測量最早的干涉型光學(xué)輪廓儀使用的
是單色光照明，同時(shí)使用了相移技術(shù)。使用相移技術(shù)獲得最高測量
粘度，但是單色照明卻限制了測量的范圍。為了能夠擴(kuò)大測量范圍
。進(jìn)一步發(fā)展了雙波長和多波長技術(shù)。如今雙波長和多波長干涉測
量原理還在全息和散斑技術(shù)是使用，用來測量大口徑元件，其間用
到了條紋投影和結(jié)構(gòu)光技術(shù)。
（2）白光干涉測量 白光干涉測量系統(tǒng)早已確立為用于工程表
面測量的主導(dǎo)學(xué)輪廓儀。白光干涉測量可以看做一種光學(xué)聚焦傳感
器。干涉信號的位置確定了最佳焦點(diǎn)，這類設(shè)備的典型結(jié)構(gòu)是由一
個(gè)傳統(tǒng)的顯微鏡配備一個(gè)干涉物鏡組成，這種干涉測量技術(shù)上比其
他光學(xué)和探針輪廓技術(shù)而言，其優(yōu)勢在于進(jìn)行會(huì)場掃描而非點(diǎn)到點(diǎn)
的掃描。由于整個(gè)面積的成像是同時(shí)完成的，橫向掃描變得不再必
要，這也極大地提高了測量速度。
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